磁流体真空旋转密封装置是把旋转运动传入真空容器的一种部品解决方案,杜绝了气体的泄漏和污染,适用于对密封要求很高的场合。广泛应用于:半导体,如:硅生长、溅射、等离子蚀刻、化学气相淀积、离子移置技术、液晶再生过程,光伏,显示技术等领域
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